12月28日，積塔半導(dǎo)體特色工藝生產(chǎn)線首臺光刻設(shè)備搬入儀式在上海自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)臨港新片區(qū)積塔半導(dǎo)體廠區(qū)舉行。這標(biāo)志著積塔半導(dǎo)體從建設(shè)期向生產(chǎn)運(yùn)營期邁出重要一步，為2020年底實(shí)現(xiàn)批量生產(chǎn)打下基礎(chǔ)。

上海積塔半導(dǎo)體特色工藝生產(chǎn)線項(xiàng)目是上海市重大工程，總投資為359億元，是上海市政府與中國電子信息產(chǎn)業(yè)集團(tuán)合作協(xié)議的重要內(nèi)容，也是其中第一個(gè)落地的重大產(chǎn)業(yè)項(xiàng)目。該項(xiàng)目位于上海浦東新區(qū)臨港裝備產(chǎn)業(yè)區(qū)，占地面積23萬平方米。

嘉賓為積塔半導(dǎo)體生產(chǎn)線首臺光刻設(shè)備揭幕

2018年8月7日，上海積塔半導(dǎo)體特色工藝生產(chǎn)線建設(shè)項(xiàng)目土地成功摘牌，并簽訂了土地出讓合同；同年8月16日，該項(xiàng)目順利開工；2019年5月21日，臨港產(chǎn)業(yè)區(qū)迎來積塔半導(dǎo)體特色工藝生產(chǎn)線廠房結(jié)構(gòu)封頂?shù)闹匾獣r(shí)刻。

而首臺光刻設(shè)備搬入又是一個(gè)里程碑式的事件。積塔項(xiàng)目以建設(shè)成為模擬與功率領(lǐng)域國內(nèi)領(lǐng)先的特色工藝半導(dǎo)體生產(chǎn)線為目標(biāo)，建成投產(chǎn)后，將進(jìn)一步幫助完善上海打造集成電路產(chǎn)業(yè)高地布局，發(fā)揮產(chǎn)業(yè)集聚效應(yīng)，加快建設(shè)具有國際競爭力的綜合性產(chǎn)業(yè)集群。